水冷オートトランスレータ&水冷圧空直線導入機構

水冷オートトランスレータ&水冷圧空直線導入機構
備考

水冷4象限スリット、水冷スクリーンモニターに使用する導入機構です。水冷駆動機構は無酸素銅パイプを継ぎ目なしの一筆タイプとし、真空と大気の境目は真空ロー付けにて封止しています。

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