特許第5234994号

【仕様】

試料をグローブボックスなどから大気にさらすことなく真空装置に移動させることができる試料搬送導入機です。

・装置の上部フランジ（ICF34）より容器内の真空排気が可能です。

・容器内を真空引きし、封じることで1Ｘ10-3Ｐａ以下を20日間以上保つことができます。

・容器の材質はSUS304です。

・お客様のホルダー、装置の大きさに合わせて製作できます。

・重さは標準で1Kg程度であり、コンパクトのため持ち運びに便利です。

・持ち運び専用ケースも用意しております。

・本装置とお客様の装置との接続フランジも用意しております。

・構造が単純なため、お客様でも洗浄やメンテナンスが容易にできます。