真空チャンバーのフランジを取り外すことなく扉を開けられるドアです。ガラス窓も備え内部の観察もできます。ガラス窓の他ブランクでも提供可能です。開閉時はハンドルを回すだけの作業ですので面倒なボルトの締結はなく作業時間が短縮されます。

ICF70,ICF114,ICF152,ICF203の各フランジタイプを用意しております。

・サイズ：ICF70,ICF114,ICF152,ICF203の各フランジタイプを用意しております。

・許容加熱温度：150℃以下

・真空シール部：Ｏリング（バイトン）

・有効内径　ICF70:φ32　ICF114:φ60　ICF152:φ100　ICF203:φ145

・ 許容リーク量：7.0Ｘ10-9　Pa・m3/sec 以下