製品案内一覧 :真空配管・真空部品

各種サンプルホルダー
型式
備考

SUS、OfCU、BECU、Mo、Ta、タングステン、セラミックなどその他各材料によるサンプルホルダーを用途に合わせて設計、製作致します。

フィードスルーフランジ
型式
備考

各種電流導入端子の製作を致します。
BNC、MHV、SHV、Dsub、多ピン電極など接続フランジの仕様に合わせて製作しております。

オープンドア
型式
OPDV-70FH OPDV-114FH OPDV-152FH OPDV-203FH
備考

真空チャンバーのフランジを取り外すことなく扉を開けられるドアです。ガラス窓も備え内部の観察もできます。ガラス窓の他ブランクでも提供可能です。開閉時はハンドルを回すだけの作業ですので面倒なボルトの締結はなく作業時間が短縮されます。

ICF70,ICF114,ICF152,ICF203の各フランジタイプを用意しております。

各種配管
型式
備考

各種配管 / ベローズ / ベローズ特 / 特殊フランジ

 

ICFフランジ及びJIS規格フランジその他特殊フランジによる 配管ニップルも用途に合わせて製作致します。ベローズニップルも各種製作致します。

ガス配管
型式
備考

真空装置に使用する継手、バルブ、フィルター、レギュレーター、ホース、フレキシブルホースなどを用いたガス配管を仕様に合わせて製作いたします。

溶接ベローズ配管
型式
備考

真空配管に必要なベローズニップルを製作します

ベローズ種類は溶接ベローズ、成形ベローズ

接続フランジはコンフラットフランジ、JISフランジ、特注フランジなど仕様に合わせて製作いたします。

スウェージロック配管
型式
備考

スウェージロック、VCR、ウルトラトールなどの継手配管を仕様に合わせて製作いたします。

角度可変ベローズ
型式
備考

ストロークの長いトランスファーロッドなどのロッド先端の下降を補正するために角度の調整ができる機構が付いたベローズです

トランスファーロッドと合わせて使用されております。

スタットネジタイプが標準になります

 

配管部品
型式
備考

真空配管に必要な部品の製作をいたします。

真空接続フランジを使用したニップル、フレキシブルホース、パイプ配管、ベローズニップル、ゲージポート、エルボなど様々な配管を製作をしています。

コンフラットフランジ、JISフランジ、NWフランジ、ISOフランジなど対応致しております。

ベローズニップル
型式
備考

真空配管時に変位、伸縮など必要な場合にベローズニップルを使用します。主に溶接ベローズを使用しますが変位、伸縮の少ない場合は成形ベローズを使用することもあります。

お客様の仕様に合わせて製作いたします。

リークバルブ
型式
備考

真空から大気にベントする際のリークバルブです

大気開放のベントだけでなく真空排気時のバルブにも利用できます。

またスウェージロック継手など接続してベント時に窒素パージができます。

各種真空フランジにて対応しております。

各種サンプルバンク
型式
備考

サンプルホルダーを収納するサンプルバンクです。

サンプルホルダーの仕様に合わせて製作いたします。

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