真空チャンバーのフランジを取り外すことなく扉を開けられるドアです。ガラス窓も備え内部の観察もできます。ガラス窓の他ブランクでも提供可能です。開閉時はハンドルを回すだけの作業ですので面倒なボルトの締結はなく作業時間が短縮されます。
ICF70,ICF114,ICF152,ICF203の各フランジタイプを用意しております。
各種配管 / ベローズ / ベローズ特 / 特殊フランジ
ICFフランジ及びJIS規格フランジその他特殊フランジによる 配管ニップルも用途に合わせて製作致します。ベローズニップルも各種製作致します。
真空配管に必要なベローズニップルを製作します
ベローズ種類は溶接ベローズ、成形ベローズ
接続フランジはコンフラットフランジ、JISフランジ、特注フランジなど仕様に合わせて製作いたします。
ストロークの長いトランスファーロッドなどのロッド先端の下降を補正するために角度の調整ができる機構が付いたベローズです
トランスファーロッドと合わせて使用されております。
スタットネジタイプが標準になります
真空配管に必要な部品の製作をいたします。
真空接続フランジを使用したニップル、フレキシブルホース、パイプ配管、ベローズニップル、ゲージポート、エルボなど様々な配管を製作をしています。
コンフラットフランジ、JISフランジ、NWフランジ、ISOフランジなど対応致しております。
真空配管時に変位、伸縮など必要な場合にベローズニップルを使用します。主に溶接ベローズを使用しますが変位、伸縮の少ない場合は成形ベローズを使用することもあります。
お客様の仕様に合わせて製作いたします。
真空から大気にベントする際のリークバルブです
大気開放のベントだけでなく真空排気時のバルブにも利用できます。
またスウェージロック継手など接続してベント時に窒素パージができます。
各種真空フランジにて対応しております。
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