直線回転導入機

直線回転導入機
形式 VLR-34
備考

トランスファーロッド

予備真空槽または準備室等を利用することにより、主チャンバーを超高真空状態に保ちながら、試料等を大気に触れることなく移動させることができます。

超高真空状態が保たれますので、排気時間の短縮が図れ繰り返しの実験が可能です。マグネット方式のため、直線と回転が同軸機構で行われ半永久的な機能を備えています。

 

【仕様】

・ 接続フランジ:ICF034FH

・ 移動回転トルク:3Kgf・cm

・ 駆動方式 :マグネット方式

・ 移動距離:50mm~500mm製作可能

・ 回転角度:360度

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

このページをご覧の方は、以下のページにも興味を持たれています。