トランスファーロッド

予備真空槽または準備室等を利用することにより、主チャンバーを超高真空状態に保ちながら、試料等を大気に触れることなく移動させることができます。

超高真空状態が保たれますので、排気時間の短縮が図れ繰り返しの実験が可能です。マグネット方式のため、直線と回転が同軸機構で行われ半永久的な機能を備えています。

【仕様】

・ 接続フランジ：ICF034FH

・ 移動回転トルク：3Kgｆ・cm

・ 駆動方式 ：マグネット方式

・ 移動距離：50mm～500mm製作可能

・ 回転角度：360度

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

・　本製品は改良のため変更する場合がございます。