直線回転導入機

直線回転導入機
形式 VL-600
備考

トランスファーロッド

本機は、多室構成の超高真空装置の試料移動のために開発された、マグネットを用いた試料移送機です。

真空系内外に配置したマグネットにより真空内に駆動力を伝達している簡単な構造で、ベローズを用いた方式と比較して、脱ガスが非常に少なく試料の並進と回転ができます。

また、独自のマグネット回路組み合わせ方式により充分な駆動力が得られています。

 

【仕様】

・ 平行移動(Linear):10Kgf

・ 回 転(Rotation):10Kg・cm

・ 平行移動及回転機構 :目盛・ストッパー付

・ ストローク:150mm~1300mmまで製作可能

・ 接続フランジ:ICF70(ICF114/152も製作いたします。)

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

・ 本製品は改良のため変更する場合がございます。

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