ロータリーステージ

ロータリーステージ
形式 VRS-70K
備考

回転

【仕様】

・従来型より剛性のあるベアリングを使用しています。

 水平使用のユーザー様に推奨いたします。

・全高:45mm

・内径:Φ36mm

・超高真空対応フランジ:ICF70FT

・回転:360°手動

・差動排気部:ICF34FT

・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

・ベーキング温度:最大120℃

このページをご覧の方は、以下のページにも興味を持たれています。