高精度ロータリーステージ

高精度ロータリーステージ
形式 VRS253Ⅱ
備考

回転

型式:VRS253Ⅱ

本製品は、(独)産業技術総合研究所殿との共同研究成果を活用しています。

特許第5875033号

 

【仕様】

・全高:75mm

・内径:φ198mm

・超高真空対応フランジ:ICF253FT

・回転:360° モーター駆動

・差動排気部:ICF34FT

・自重:約17Kg

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