回転

特許第5875033号

型式：VRS253Ⅱ

本製品は、（独）産業技術総合研究所殿との共同研究成果を活用しています。

特許第5875033号

【仕様】

・全高：75mm

・内径：φ198mm

・超高真空対応フランジ：ICF253FT

・回転：360°　モーター駆動

・差動排気部：ICF34FT

・自重：約17Ｋｇ

・ベーキング温度：最大120℃