ロータリーステージ

ロータリーステージ
形式 VRS-70
備考

回転

型式:VRS-70

 

特許

 

【仕様】

・全高:35mm

・内径:Φ36mm

・超高真空対応フランジ:ICF70FT

・回転:360°手動

・差動排気部:ICF34FT

・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以

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