回転

型式：VRS-114

仕様

・全高：70mm

・内径：Φ64mm

・超高真空対応フランジ：ICF114FT

・回転：360°手動またはモーター駆動

・分解能：ハンドル1回転3°(手動式）

・目盛：1目盛 0.15°

・差動排気部：ICF34FT

・耐荷重：11KN

・自重：4.5Kg

・ リーク量：1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

・ベーキング温度：最大120℃