ロータリーステージ

ロータリーステージ
形式 VRS-114
備考

回転

型式:VRS-114

 

特許

 

仕様

・全高:70mm

・内径:Φ64mm

・超高真空対応フランジ:ICF114FT

・回転:360°手動またはモーター駆動

・分解能:ハンドル1回転3°

・目盛:1目盛 0.15°

・差動排気部:ICF34FT

・耐荷重:11KN

・自重:4.5Kg

・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

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