ロータリーステージ

ロータリーステージ
形式 VRS-152
備考

回転

型式:VRS-152

 

特許

 

【仕様】

・ 全 高:70mm

・ 内 径:Φ102mm

・ 超高真空対応フランジ:ICF152FT

・ 回 転:360°手動またはモーター駆動

・ 分解能 :ハンドル1回転2°

・ 差動排気部:ICF34FT

・ 耐荷重:11KN

・ 自 重:6.0kg

・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

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