回転

型式：VRS-152

【仕様】

・ 全 高：70mm

・ 内 径：Φ102mm

・ 超高真空対応フランジ：ICF152FT

・ 回 転：360°手動またはモーター駆動

・ 分解能 ：ハンドル1回転2°(手動式）

・ 差動排気部：ICF34FT

・ 耐荷重：11KN

・ 自 重：6.0kg

・ リーク量：1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

・ベーキング温度：最大120℃