直線

【仕様】

・ Z方向移動：130mm (手動）、フランジ面間 min85mm max215mm

・ 取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF152FT、移動フランジ　ICF152FT

・ 溶接ベロー：外径φ130mm 内径φ100mm 使用

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

・　移動量：100ｍｍ　150ｍｍも製作してます。