直線
【仕様】
・ Z方向移動量:100mm
・ 取り付けフランジ:上部フランジICF70FT
下部フランジICF70FH
・ 駆動方式:手動
・ 伸縮:溶接ベロー 内径 40mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下
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