ICF152オートトランスレーター

ICF152オートトランスレーター
形式 ATL-152/114-450ST
備考

直線

【仕様】

・ Z方向移動 :50mm(パルスモーター駆動)、フランジ面間 min198mm max648mm、分解能 0.1μm/pulse、上下限リミットスイッチ付

・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF152FH、移動フランジ ICF114FH

・ 溶接ベロー:外径φ110mm 内径φ80mm 使用

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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