直線

【仕様】

・ Z方向移動 ：450mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、

・分解能 0.1μm/pulse、上下限リミットスイッチ付

・ 取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF152FH、移動フランジ　ICF114FH

・ 溶接ベロー：外径φ110mm 内径φ80mm 使用

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

・各種ストローク対応いたします。