中空型ICF70オートトランスレーター

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形式	中空型ICF70オートトランスレーター
備考	直線
【仕様】・ Z方向移動：100mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間　min131mm　max231mm、分解能 0.04μm/pulse、上下限リミットスイッチ付・取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF70FH、移動フランジ　ICF70FT ・溶接ベロー：外径φ60mm 内径φ40mm 使用・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

形式

中空型ICF70オートトランスレーター

備考

直線

【仕様】

・ Z方向移動：100mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間　min131mm　max231mm、分解能 0.04μm/pulse、上下限リミットスイッチ付

・取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF70FH、移動フランジ　ICF70FT

・溶接ベロー：外径φ60mm 内径φ40mm 使用

・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

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