中空型ICF70オートトランスレーター

中空型ICF70オートトランスレーター
形式 中空型ICF70オートトランスレーター
備考

直線

【仕様】

・ Z方向移動:100mm(パルスモーター駆動)、フランジ面間 min131mm max231mm、分解能 0.04μm/pulse、上下限リミットスイッチ付

・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF70FH、移動フランジ ICF70FT

・ 溶接ベロー:外径φ60mm 内径φ40mm 使用

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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