■仕様 ・溶接ベロー駆動 ・分解能：0.0002ｍｍ/パルス ・接続フランジ：ICF70 ・ストローク：80ｍｍ ・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11 Pa・m3/sec 以下
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