貫通型直線導入機

貫通型直線導入機
形式 LM-40S-BN(LM-80S-BN)
備考

直線

本製品は従来の直線導入機に各種導入機、フィッテイング等を取付けられるフランジを付け加え、超高真空槽における直線移動、位置決め等に用いられる単なる直線導入機というだけでなく、各種複合的な操作を可能にするものです。

取付けフランジはICFフランジであることから、一般のフィードスルーが利用でき、例えば、電流導入端子を用いた可動型の検出器、他の運動導入機と組み合わせて2軸動作型マニュピレーター、バルブ等を取り付けた可動型ノズル、スニーファーなど幅広い応用が考えられます。

 

【仕様】

・ 移動距離:0~40mm(LM-40S-BN)、0~80mm(LM-80S-BN)

・ 接続フランジ:ICF70FH

・ 拡張取付けフランジ:ICF34FT BNC付ICF34付

・ 位置決め精度:1rev./2mm 1目盛り/0.1mm

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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