直線

本製品は従来の直線導入機に各種導入機、フィッテイング等を取付けられるフランジを付け加え、超高真空槽における直線移動、位置決め等に用いられる単なる直線導入機というだけでなく、各種複合的な操作を可能にするものです。

取付けフランジはICFフランジであることから、一般のフィードスルーが利用でき、例えば、電流導入端子を用いた可動型の検出器、他の運動導入機と組み合わせて2軸動作型マニュピレーター、バルブ等を取り付けた可動型ノズル、スニーファーなど幅広い応用が考えられます。

近年ではガン治療装置などの医療機器にも使用されています。

【仕様】

・ 移動距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN)

・ 接続フランジ：ICF70FH

・ 拡張取付けフランジ：ICF34FT　BNC付ICF34付

・ 分解能：１rev./2mm 1目盛り／0.1mm

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下