多軸

【仕様】

・X・Ｙ平行移動：±10ｍｍ

・精度目盛：0.01ｍｍ/１div

・取付フランジ：ＩＣＦ70

・ベローズ内径：40ｍｍ

・許容リーク量：1.33×10-11　Ｐａ・ｍ3/sec以下