多軸

本製品は、超高真空中におけるサンプル等の移動及び測定等の実験で大気中において上下移動又はX.Yの平行移動を操作できるように設計され、本製品は幅広く各方面で利用されております。

【仕様】

・ X.Y平行移動：最大移動 ±5mm

・ Z軸移動量：100ｍ/ｍ

・ 取り付けフランジ：上部フランジICF70FT

　　　　　　　　　　 下部フランジICF70FH

・ 溶接ベロー：内径40mm使用

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

・ 保証期間：6ヶ月