多軸
 

本製品は、超高真空中における冷凍機・クライオスタット等の移動及び測定等の実験で大気中において上下移動又はX.Yの平行移動を正確かつ再現性良く操作できるように設計され、精密に製作・組み立てが行われており、機能の優秀さと精度に、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

【仕様】

・ X・Y 平行移動：最大移動 ±10mm
　分解能 10μｍ
・ Z方向移動：最大移動 130mm
　分解能50μｍ
・ 取り付けフランジ：上部・ICF70FT
　　　　　下部・ICF152FH フィードスルー取付ICF34フランジ付　　　　　　　　　　　
・ 溶接ベロー：外径 60mm 内径 40mm
・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11 Pa・m3/sec 以下

・　本製品は改良のため変更する場合がございます。