マニピュレーター

マニピュレーター
形式 VM-150
備考

多軸
 

本製品は、超高真空中における冷凍機・クライオスタット等の移動及び測定等の実験で大気中において上下移動又はX.Yの平行移動を正確かつ再現性良く操作できるように設計され、精密に製作・組み立てが行われており、機能の優秀さと精度に、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

 

【仕様】

・ X・Y 平行移動:最大移動 ±10mm
 移動密度 10μ以下
・ Z方向移動:最大移動 130mm
 移動密度 50μ以下
・ 取り付けフランジ:上部・・・ICF70FT
           下部・・・ICF152FH
・ 溶接ベロー:外径 60mm 内径 40mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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