4軸制御システムマニピュレーター

4軸制御システムマニピュレーター
形式 FCC-4axis-MNP

【仕様】

XY駆動 ±15mm 精度:0.1μm(100nm)

Z駆動 200mm 精度:0.1μm(100nm)

θ回転 360° 精度:0.0001°高精度ロータリーステージiRS152使用

取付フランジ 上部 ICF152 下部 ICF203

Zステージベローズ内径 155.4mm

アブソリュートエンコーダー使用フルクローズ制御可能

位置情報はLabVIEWから読み取り可能

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