本製品は改良のため仕様が変わることがございます。

【仕様】

XY駆動　±15ｍｍ　精度：0.1μｍ（100nm)

Ｚ駆動　200ｍｍ 精度：0.1μｍ（100nm)

θ回転　360° 精度：0.0001°高精度ロータリーステージiRS152使用

取付フランジ　上部　ICF152 下部　ICF203

Ｚステージベローズ内径　155.4ｍｍ

アブソリュートエンコーダー使用

位置情報はLabVIEWから読み取り可能

ユーザー使用環境により仕様が変わるため制御プログラムは含まれておりません。