【仕様】

・　Ｘ・Ｙ平行移動±3ｍｍ

・　最小分解能0.00004mm/パルス

・　取り付けフランジＩＣＦ114　

・　ベローズ内径60ｍｍ　４０ｍｍ

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

・手動も製作致します