回転

本製品は真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い超高真空領域にも使用可能な、回転導入機です。

【仕様】

・ 接続フランジ：ICF34

・ 先端軸径：6mm

・ 導入シャフト長さ：フランジ面～35L

・ 許容トルク：4kg／f（磁気結合）

・ 質量：0.55kg

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下