Xステージ

PRODUCTS 製品案内

形式	X-70/70-M
備考	直線
【仕様】・ X方向移動：±12.5mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間　110mm、分解能 0.04μm/pulse、リミットスイッチ付・取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF70FH、移動フランジ　ICF70FT ・溶接ベロー：外径φ60mm 内径φ40mm 使用・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

形式

X-70/70-M

備考

直線

【仕様】

・ X方向移動：±12.5mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間　110mm、分解能 0.04μm/pulse、リミットスイッチ付

・取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF70FH、移動フランジ　ICF70FT

・溶接ベロー：外径φ60mm 内径φ40mm 使用

・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

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