ICF70XYステージ

PRODUCTS 製品案内

形式	XY-70/70-40-10
備考	多軸
【仕様】・ X・Y 平行移動：±10mm ・精度目盛：0.01mm/1div ・取り付けフランジ：ICF70 ・ベローズ内径：40mm ・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

形式

XY-70/70-40-10

備考

多軸

【仕様】

・ X・Y 平行移動：±10mm

・精度目盛：0.01mm/1div

・取り付けフランジ：ICF70

・ベローズ内径：40mm

・許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下

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