XYステージ

XYステージ
形式 XY-70型
備考

多軸

本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中において、XYの平行移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われており、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

 

【仕様】

・ X・Y 平行移動:最大移動 ±5mm、精度 目盛 0.01mm

・ 取り付けフランジ:ICF70FT 及び ICF70FH、ICF114 及び ICF152 タイプもあります。

・ 溶接ベロー:内径 20mm外径 40mm

・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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