多軸

本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中において、XYの平行移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われており、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

【仕様】

・ X・Y 平行移動：最大移動 ±5mm、精度　目盛　0.01mm

・ 取り付けフランジ：上部ICF70FT　及び　下部ICF70FH

・ICF114　及び　ICF152　タイプもあります。

・ 溶接ベロー：内径 20mm外径 40mm

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下