多軸

本製品は、超高真空中における冷凍機・クライオスタット等の移動及び測定等の実験で大気中において上下移動又はX.Yの平行移動を正確かつ再現性良く操作できるように設計され、精密に製作・組み立てが行われており、機能の優秀さと精度に、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。 XY軸、Z軸のモーター駆動も製作致します。

【仕様】

・ X.Y 平行移動：最大移動　±6.5mm（手動）、移動精度　10μm以下

・ Z方向移動：100～200m/m（手動）、移動精度　50μm以下

・ 取り付けフランジ：ベースフランジ　ICF70FH、移動フランジ　ICF70FT

・ 溶接ベロー：外径φ60mm 内径φ40mm 使用

・ 許容リーク量：1.33Ｘ10-11　Pa・m3/sec 以下