受注生産品

回折格子：トロイダル球面、測定波長範囲：10nm～110nm

入射スリット：可変方式

検出器：ＣＣＤ、ＭＣＰ（オプション）ＩＣＦ152接続

オプションで、排気系もご相談ください。