受注生産品
回折格子:600本/mm、波長範囲:20~120nm、波長分散:0.60~1.2nm/mm
スペクトル結像面が平面である平面結像型斜入射分光器で、分解能はXUV660型平面結像型斜入射分光器より小さいが、より長い波長域まで測定できる光学系を持つのが特徴です。
オプションでCCDカメラなどの検出器、排気系もご相談ください。
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