超高真空の立ち上げ時にベーキングをしてチャンバー内部のガス放出をする際に必要なシーズヒーターを巻き付けた真空チャンバーです

真空チャンバーの本体を球形で製作してフランジポートを製作します。

球形３００ｍｍまで製作実績がございます

球はプレス加工、ヘラ絞り加工で製作します

本体を板金加工で製作した小型の箱型真空チャンバーです

半導体製造に於けるエッチング工程時の実験真空チャンバーです

半導体製造に於ける実験用の真空チャンバーの製作もしております

お客様の仕様に合わせて製作いたします。

アルミの無垢材料からマシンング加工で削りだした真空チャンバーです。

真空チャンバー内部で発生する熱に対してチャンバーに水冷機構を付加することにより冷却ができます。

主に水冷パイプを巻いたり水冷ジャケットを施工したりします