角型をした真空チャンバーです。

メカニカル機構などを真空内部に設置する場合に円筒形よりスペースが有利になります。

角型をした真空チャンバーです。

メカニカル機構などを真空内部に設置する場合に円筒形よりスペースが有利になります。