製品案内一覧 :真空チャンバー

各種チャンバー
型式
備考

ステンレス製真空対応のチャンバーを用途に合わせて設計、製作致します。

超高真空用チャンバー
型式
備考

ステンレス製の超高真空対応の真空チャンバーです。

バフ研磨と電解研磨を施した超高真空仕様です。

フランジはコンフラットフランジを使用しています。

角チャンバー
型式
備考

角型をした真空チャンバーです。

メカニカル機構などを真空内部に設置する場合に円筒形よりスペースが有利になります。

六方キューブチャンバー
型式
備考

コンフラットフランジのエッジを6面加工したステンレス製の真空チャンバーです。

サイズはICF70~ICF253まで製作実績がございます。

アンジュレーターチャンバー
型式
備考

加速器に使用されるマグネット偏向アンジュレーター用の超高真空チャンバーです。

長さ1500mmまで製作実績がございます

 

分析用超高真空チャンバー
型式
備考

様々な複雑な形状をした真空チャンバーも設計・製作いたしますので

お気軽にご相談ください。

高真空チャンバー
型式
備考

Oリングシールフランジを使用した高真空チャンバーです。

JISフランジ仕様のチャンバーも製作しております。

球型チャンバー
型式
備考

真空チャンバーの本体を球形で製作してフランジポートを製作します。

球形300mmまで製作実績がございます

蒸着チャンバー
型式
備考

真空蒸着、MBE、CVD、スパッタなどの膜付け用の真空チャンバーをお客様の仕様に基づき製作しております

スペースチャンバー
型式
備考

多目的の大型真空チャンバーです

フランジ径最大2000mmの製作実績がございます。

角型チャンバー
型式
備考

大型の角型真空チャンバーでリブ補強により強度を増すことにより

コストダウンと軽量化を実現しております

お客様の仕様に合わせて製作しております

ベローズ付チャンバー
型式
備考

真空ラインに接続する際に設置がしやすいように溶接ベローを付属させた真空チャンバーです

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