受注生産品
角型をした真空チャンバーです。
メカニカル機構などを真空内部に設置する場合に円筒形よりスペースが有利になります。
コンフラットフランジのエッジを６面加工したステンレス製の真空チャンバーです。
サイズはＩＣＦ70～ＩＣＦ２５３まで製作実績がございます。
加速器に使用されるマグネット偏向アンジュレーター用の超高真空チャンバーです。
長さ１５００ｍｍまで製作実績がございます
様々な複雑な形状をした真空チャンバーも設計・製作いたしますので
お気軽にご相談ください。
Ｏリングシールフランジを使用した高真空チャンバーです。
ＪＩＳフランジ仕様のチャンバーも製作しております。
真空チャンバーの本体を球形で製作してフランジポートを製作します。
球形３００ｍｍまで製作実績がございます
真空蒸着、ＭＢＥ、ＣＶＤ、スパッタなどの膜付け用の真空チャンバーをお客様の仕様に基づき製作しております
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