特許第5234994号

本製品は改良のため仕様が変わることがございます。

直線

放射光ビームライン用のミラー駆動機構です。駆動機構はモーター駆動でミラーホルダーは水冷式になっています。ミラーホルダーは吊り下げ方式です。

放射光用の水冷マスクです。接続フランジはＩＣＦ152規格で銅製です。

多軸

モーター駆動も製作しています。

放射光用の水冷マスクです。接続フランジはＩＣＦ114。ステンレスと無酸素銅の接合は電子ビーム溶接によって施工されています。また水冷ジャケットによる水冷方式になっております。

X線用窓

ＨＩＰ拡散接合により無酸素銅とステンレスを接合後加工を施しています。その後ベリリウム薄膜の真空ろう付けを施工。Ｘ線取り出し用窓として使用します。無酸素銅部分には水路があり水冷ができる構造になっています。

放射光用の強度モニター導入機構です

放射光施設用の水冷２象限スリットです。スリットブレードがＬ型で製作されていてビームの整形ができます。