多軸

液体窒素を充填し蒸発した純窒素を超高真空領域に導入し、大気圧までベントする装置です。この装置を使う事により真空にとって大敵である大気中の水成分の真空内面への吸着を最小限に抑え、その後のベーキングまたはノンベークでの超高真空立ち上げが容易になります。

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水冷４象限スリット、水冷スクリーンモニターに使用する導入機構です。水冷駆動機構は無酸素銅パイプを継ぎ目なしの一筆タイプとし、真空と大気の境目は真空ロー付けにて封止しています。

水冷４象限スリットの後方に水冷スクリーンモニターを設置して一つの真空チャンバーに集約したモデルです。

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蛍光板モニター駆動機構(スクリーンモニター)は蛍光板ホルダーとその駆動機構を有し、必要に応じてビームライン輸送部に蛍光板を挿入し、Ｘ線ビームを可視化して容易に光学系の調整などを行うための装置です。

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本製品は３枚のミラーをマウントし、反射率の違いから分光光に含まれる高次光の割合を減らすために用いられる装置です。