本装置は高輝度アンジュレーターから得られる硬Ｘ線をＫＢ配置ミラーによってマイクロビーム化し、これを励起源として試料の微小部分の光電子分光を行う装置です。励起光として６Ｋｅｖ－１０Ｋｅｖの硬Ｘ線を利用し、検出深さが大きく試料表面の清浄化を要しないために広範囲の期待ができます。本装置は精密Ｘ線光学系、精密走査試料マニピュレーター、硬Ｘ線用電子アナライザーの組み合わせから構成される超高真空装置です。