真空装置内に挿入したいものの位置決めができる中空型直線導入機です。真空装置内で測定したいサンプルなどに、加熱、冷却、電流測定といった応用をきかせたい場合、中空構造になっているので機器が挿入でき、直線移動も可能です。幅広い種類を用意しておりますのでお客様の仕様に合ったものをお選びいただけます。

真空装置内で測定したいサンプルの位置決めなどに使用する装置です。XYZ座標の位置決めなどが、大気側より精密かつ容易に行えます。簡易型から高精度型まで幅広い種類を用意しておりますのでお客様の仕様に合ったものを選択可能です。モーター駆動のものはモータードライバー、モーターコントローラ、PCを介して制御ができます。またインターフェースを介してフルクローズ制御が可能なマニピュレーターもあります。

真空装置内でサンプルなどを回転させたい場合に使用する中空型回転導入機です。冷凍機、クライオスタッド、加熱機構などを真空中で回転させたい場合などに使用できる中空型の回転導入機構で、ICF70サイズからICF253サイズまで製作しています。スタンダードから高精度まで、幅広く取り揃えています。

真空中で測定したいサンプルなどを準備槽から分析室まで搬送するための、直線移動と回転移動ができる装置です。大気側から容易に操作できます。また、サンプル測定の他、蒸着、スパッタリングなどの膜付実験で半導体ウエハーなどの搬送などにも使用されます。

真空装置内の直線移動の位置決めができる装置です。真空装置内部で直線駆動をさせるための機器で、大気側から容易に操作できます。