ミニXZ駆動機構  製品案内 真空光学株式会社

製品案内

ミニXZ駆動機構

ミニXZ駆動機構

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本製品は、超高真空における移動および測定等の実験で大気中においてZ軸
X軸の移動を正確かつ再現性よく操作できるように設計され、精密に製作、組立が行われており、当社の製品は幅広く各方面で利用されております。

仕様

・X方向移動±2.5mm
・Z方向移動80mm
・取付フランジ:ICF34
・溶接ベロー 
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下
・モーター駆動

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