簡易型XYステージ  製品案内 真空光学株式会社

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簡易型XYステージ

簡易型XYステージ

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仕様

・ X・Y 平行移動:±10mm
・ 精度目盛:0.01mm/1div
・ 取り付けフランジ:ICF70
・ ベローズ内径:40mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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