4軸フルクローズド制御システムマニピュレーター  製品案内 真空光学株式会社

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4軸フルクローズド制御システムマニピュレーター

4軸フルクローズド制御システムマニピュレーター

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仕様

XY駆動 ±15mm 精度:0.1μm(100nm)
Z駆動 200mm 精度:0.1μm(100nm)
θ回転 360° 精度:0.0001°高精度ロータリーステージiRS152使用
取付フランジ 上部 ICF152 下部 ICF203
Zステージベローズ内径 155.4mm
アブソリュートエンコーダー使用
位置情報はLabVIEWから読み取り可能

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