オート直線導入機  製品案内 真空光学株式会社

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オート直線導入機

オート直線導入機

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仕様

・溶接ベロー駆動
・分解能:0.00002mm/パルス
・接続フランジ:ICF70
・ストローク:80mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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