高精度ロータリーステージ  製品案内 真空光学株式会社

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高精度ロータリーステージ

高精度ロータリーステージ

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型式:VRS253
本製品は、(独)産業技術総合研究所殿との共同研究成果を活用しています。
特許第5875033号

仕様

・全高:75mm
・内径:φ198mm
・超高真空対応フランジ:ICF253FT
・回転:360° モーター駆動
・差動排気部:ICF34FT
・自重:約17Kg

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