ICF114XYステージ  製品案内 真空光学株式会社

製品案内

ICF114XYステージ

ICF114XYステージ

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仕様

・ X・Y平行移動±3mm
・ 最小分解能0.00004mm/パルス
・ 取り付けフランジICF114 
・ ベローズ内径60mm 40mm
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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