オープンドア  製品案内 真空光学株式会社

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オープンドア

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・サイズ:ICF70,ICF114,ICF152,ICF203の各フランジタイプを用意しております。
・許容加熱温度:150℃以下
・真空シール部:Oリング(バイトン)
・有効内径 ICF70:φ32 ICF114:φ60 ICF152:φ100 ICF203:φ145
・ 許容リーク量:7.0X10-9 Pa・m3/sec 以下

 

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