ロータリーステージ  製品案内 真空光学株式会社

製品案内

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ロータリーステージ

ロータリーステージ

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型式:VRS-70

特許

仕様

・全高:35mm
・内径:Φ36mm
・超高真空対応フランジ:ICF70FT
・回転:360°手動
・差動排気部:ICF34FT
・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

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