直線回転導入機  製品案内 真空光学株式会社

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直線回転導入機

直線回転導入機

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予備真空槽または準備室等を利用することにより、主チャンバーを超高真空状態に保ちながら、試料等を大気に触れることなく移動させることができます。
超高真空状態が保たれますので、排気時間の短縮が図れ繰り返しの実験が可能です。マグネット方式のため、直線と回転が同軸機構で行われ半永久的な機能を備えています。

仕様

・ 接続フランジ:ICF034FH
・ 移動回転トルク:3Kgf・cm
・ 駆動方式 :マグネット方式
・ 移動距離:50mm〜500mm製作可能
・ 回転角度:360度
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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