ロータリーステージ  製品案内 真空光学株式会社

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ロータリーステージ

ロータリーステージ

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型式:VRS-152

特許

仕様

・ 全 高:70mm
・ 内 径:Φ102mm
・ 超高真空対応フランジ:ICF152FT
・ 回 転:360°手動またはモーター駆動
・ 分解能 :ハンドル1回転2°
・ 差動排気部:ICF34FT
・ 耐荷重:11KN
・ 自 重:6.0kg
・ リーク量:1×10^(-10) Pa m^3/sec 以下

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