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Xステージ
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仕様・ X方向移動：±12.5mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間 110mm、分解能 0.04μm/pulse、リミットスイッチ付
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仕様・ X方向移動：±12.5mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)、フランジ面間 110mm、分解能 0.04μm/pulse、リミットスイッチ付
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