Xステージ  製品案内 真空光学株式会社

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Xステージ

Xステージ

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仕様

・ X方向移動:±12.5mm(パルスモーター駆動)、フランジ面間 110mm、分解能 0.04μm/pulse、リミットスイッチ付
・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF70FH、移動フランジ ICF70FT
・ 溶接ベロー:外径φ60mm 内径φ40mm 使用
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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