ICF203上下機構  製品案内 真空光学株式会社

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ICF203上下機構

ICF203上下機構

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仕様

・ Z方向移動:50mm (手動、フランジ面間 min114mm max164mm
・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF203FH、移動フランジ ICF203FT
・ 溶接ベロー :外径φ185mm 内径φ155mm 使用
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下

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