ICF152上下機構  製品案内 真空光学株式会社

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ICF152上下機構

ICF152上下機構

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仕様

・ Z方向移動:130mm (手動)、フランジ面間 min85mm max215mm
・ 取り付けフランジ:ベースフランジ ICF152FT、移動フランジ ICF152FT
・ 溶接ベロー:外径φ130mm 内径φ100mm 使用
・ 許容リーク量:1.33X10-11 Pa・m3/sec 以下
・ 移動量:100mm 150mmも製作してます。

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